Главная/ Области применения/ Сверхчистая вода для полупроводников

Удаление ТОС · Системы УПВ · Очистка пластин

Сверхчистая вода для полупроводников

Мало примесный активированный уголь может применяться на стадиях предварительной и финишной очистки в системах ультрачистой воды для полупроводников. Подбор среды учитывает вымываемые примеси, вклад в ТОС, поведение при отмывке и совместимость с обратным осмосом, ионным обменом и УФ-окислением.

Обсудить проект

Обзор отрасли

Адсорбция, спроектированная под процесс.

Активированный уголь для сверхчистой воды (UPW) в полупроводниках

Сверхчистая вода (UPW) — ключевое сырьё для производства полупроводниковых пластин. Даже следовые органические загрязнители, остаточный хлор и хлорамины могут вызывать дефекты на поверхности пластин и повреждать прецизионные фильтры и мембраны обратного осмоса. Активированный уголь высокого класса служит ключевой средой предподготовки в линиях UPW: он удаляет органические загрязнители и окисляющие вещества до поступления воды в блоки RO и ионообменной доочистки.

Наш низкозольный сверхчистый активированный уголь специально производится для проектов UPW в полупроводниковой отрасли: крайне низкое вымывание тяжёлых металлов и минимальное отделение частиц, подходит для строгих систем водоподготовки чистых помещений.

Ключевые сценарии применения

Предподготовка UPW для производства пластин Удаление свободного хлора, хлораминов и растворимой органики из исходной воды. Защищает мембраны обратного осмоса от окислительной деградации и снижает нагрузку по TOC на последующие ступени доочистки.
Снижение TOC в контурах сверхчистой воды Адсорбция растворённого органического углерода для снижения TOC. Низкий уровень TOC критичен для предотвращения микрозагрязнений пластин при травлении, отмывке и литографии.
Удаление пестицидов и следовых микрозагрязнителей Улавливание следовых органических микрозагрязнителей из городской воды, чтобы они не попадали в контур сверхчистой воды.
Очистка оборотной воды на фабриках Доочистка оборотных стоков отмывки пластин: удаление остаточной органики и запахов, повышение доли повторного использования воды и снижение водопотребления фабрики.
Защита модулей ионного обмена и EDI Снижает риск органического загрязнения EDI и смол смешанного слоя, продлевает срок службы и уменьшает частоту замены дорогой среды доочистки.

Почему выбирают наш уголь для UPW в полупроводниках

Крайне низкое содержание тяжёлых металлов и золы, незначительное вымывание ионов
Мало отделяемых частиц — меньше мелкой взвеси, забивающей фильтры
Оптимизированная структура пор для эффективной адсорбции TOC и хлора
Кислотная отмывка и очистка, соответствие стандартам воды для полупроводников
Строгий контроль качества партий с полной документацией COA
Стабильные показатели для непрерывной работы фабрики 24/7

Как это работает

Исходная вода проходит через угольный фильтр: остаточный хлор каталитически разлагается, а органические молекулы удерживаются в порах за счёт физической адсорбции. Обработанная вода с пониженным TOC и без свободного хлора поступает на доочистку RO и EDI и достигает спецификации UPW для полупроводникового производства.

Отрасли применения

Полупроводниковые фабрики, контрактные производства пластин, изготовление микрочипов, заводы дисплейных панелей, станции сверхчистой воды электронной отрасли.

Свяжитесь с нашими инженерами по водоподготовке, чтобы подобрать марку угля по качеству исходной воды и требованиям спецификации UPW.

Типовые варианты угля: Кислотно-отмытая кокосовая скорлупа · высокочистый уголь на угольной основе

Параметры продукции

Таблица подбора активированного угля.

Рекомендуемые начальные диапазоны для технического обсуждения. Итоговые значения зависят от потока, метода испытаний и спецификации покупателя.

Вариант угля	Йодное число	Типовой размер	Подходящие условия	Эффект выбора
Кислотно-отмытый кокосовый гранулированный уголь	1000–1200 мг/г	12×40 меш	Органика и хлор на предподготовке	Низкая зольность и высокая твёрдость
Высокочистый гранулированный уголь	900–1100 мг/г	12×40 меш	Защита RO и доочистка	Контролируемая экстрагируемость
Мелкогранулированный уголь	1000–1200 мг/г	20×40 меш	Компактные слои доочистки	Быстрая кинетика; учёт повышенного сопротивления
Индивидуальная отмытая марка	Под проект	Размер сита по выбору покупателя	Ответственные задачи высокой чистоты	Данные по промывке и экстрагируемости по согласованию

Технологический процесс

От входа до проверенного выхода.

Точная конфигурация оборудования подтверждается после анализа данных объекта и целевых норм.

01Характеристика исходной воды
02Предфильтрация
03Удаление хлора и органики углём
04RO + EDI / ионный обмен
05УФ-окисление и контроль TOC

Проекты

Международные промышленные примеры.

Личности заказчиков не раскрываются. Примеры демонстрируют типовые проектные задания и инженерные подходы; фактические результаты зависят от объекта.

КЕЙС 01

Проект инженерных систем фабрики пластин · Восточная Азия

Дехлорирование питания RO

Кислотно-отмытый кокосовый гранулированный уголь оценивали по промывке, мелкой фракции и контролю остаточного хлора.

КЕЙС 02

Завод электронных химикатов · Юго-Восточная Азия

Предподготовка от следов органики

Высокочистый уголь прошёл пилотные испытания перед доочисткой на RO и смешанном слое.

КЕЙС 03

Расширение полупроводникового производства · Восточная Европа

Новая линия предподготовки UPW

Количество среды и загрузку аппарата рассчитывали по расходу, EBCT и ограничениям обратной промывки.

Часто задаваемые вопросы

Технические ответы для покупателей.

Нужна более быстрая оценка? Приложите к запросу имеющиеся данные процесса.

Да. Предоставьте данные процесса и целевые нормы, чтобы мы подготовили подходящий образец для оценки. Доставку обычно оплачивает покупатель.